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方案概述

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域涉及的廢氣種類繁多，核心涵蓋普通氣體排放、含毒性成分廢氣、有機(jī)揮發(fā)性化合物（VOCs）以及酸堿性廢氣。該行業(yè)廣泛運(yùn)用特種氣體、強(qiáng)酸強(qiáng)堿等化學(xué)品及大量有機(jī)溶劑與揮發(fā)性介質(zhì)，這些物質(zhì)在加工過(guò)程中不可避免地生成上述廢氣。同時(shí)，化學(xué)品存儲(chǔ)區(qū)（如固廢倉(cāng)庫(kù)）及特定作業(yè)環(huán)境亦成為廢氣污染的關(guān)鍵源。鑒于半導(dǎo)體行業(yè)的獨(dú)特性，天得一公司提供全面的污染物在線監(jiān)控體系方案，確保精準(zhǔn)、高效地監(jiān)測(cè)并管理各類廢氣排放。

方案內(nèi)容

  • 1、粉塵廢氣監(jiān)測(cè)：針對(duì)半導(dǎo)體制造全鏈條中產(chǎn)生的粉塵廢氣，我們部署了基于激光散射技術(shù)的先進(jìn)在線監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、實(shí)時(shí)地粉塵濃度監(jiān)測(cè)，確保生產(chǎn)環(huán)境潔凈度。
  • 2、鍋爐廢氣監(jiān)控：針對(duì)廠區(qū)蒸汽與燃?xì)忮仩t排放的氮氧化物等關(guān)鍵污染物，采用高性能CEMS（煙氣排放連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)），確保對(duì)鍋爐廢氣排放的全面、準(zhǔn)確監(jiān)控。
  • 3、有機(jī)廢氣治理：針對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中釋放的非甲烷總烴、總VOCs及苯系物等有機(jī)廢氣，我們配置專業(yè)的非甲烷總烴在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，精確捕捉并監(jiān)測(cè)有害氣體。
  • 4、酸堿廢氣監(jiān)測(cè)：鑒于氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物及氯氣等酸堿廢氣的特殊性與潛在危害，選用基于電化學(xué)原理的酸堿在線監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量與及時(shí)預(yù)警。
  • 5、信息化平臺(tái)整合：所有監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)均通過(guò)統(tǒng)一采集平臺(tái)匯總至企業(yè)信息化管理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的可視化管理與分析，為企業(yè)決策提供科學(xué)依據(jù)。
    • 立即咨詢

方案特點(diǎn)

  • 防爆設(shè)計(jì)

    安全可靠

  • 安全性高

    斷電自啟

  • 運(yùn)行穩(wěn)定

    自動(dòng)校準(zhǔn)功能

  • 在線監(jiān)測(cè)

    數(shù)據(jù)精準(zhǔn)

  • 維護(hù)成本低

    氣相色譜法，壽命長(zhǎng)

核心產(chǎn)品